下载便携反射式共聚焦显微镜的技术资料

文档序号:41820205

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本发明提供一种便携反射式共聚焦显微镜,包括光源模组以及便携式的仪器主体,其中仪器主体包含光源出射‑信号接受模组、反射扫描模组以及探头模组。由于反射扫描模组包含MEMS器件,其具有体积小、重量轻、耗能低、惯性小、谐振频率高、响应时间短的特点,...
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