温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种转换器单元，具有：衬底和相互作用单元，衬底具有至少一个空腔，相互作用单元至少部分地和/或完全地布置在空腔上方，内部结构布置在相互作用单元的流体密封空间中，流体密封空间设立为用于保持流体密封空间中的预确定的压力，内部结构具有第一层，内部结...
该专利属于罗伯特·博世有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过罗伯特·博世有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。