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本技术公开了一种反应釜监测机构，包括设置于反应釜表面的监测箱以及包括固定在反应釜表面的固定座，所述反应釜的底端固定有支架，所述监测箱设置与固定座的内侧，所述监测箱的表面设置有按钮，所述监测箱与固定座之间设置有安装机构，所述按钮的表面设置有防...
该专利属于武汉中芯未来应用材料研究院所有，仅供学习研究参考，未经过武汉中芯未来应用材料研究院授权不得商用。

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