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一种具有功能特性的异质结场效应管制造技术
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下载一种具有功能特性的异质结场效应管的技术资料
文档序号:4178814
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本发明涉及一种具有功能特性的异质结场效应管,包括在n型或p型衬底1上生长一p型或n型钙钛矿氧化物材料层,在p型或n型钙钛矿氧化物材料层上刻蚀一槽,该槽一侧的钙钛矿氧化物材料层为源极,另一侧的钙钛矿氧化物材料层为漏极,在源极、漏极和槽上沉积栅...
该专利属于中国科学院物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院物理研究所授权不得商用。
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