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本技术公开了一种PECVD设备的冷却机构，涉及太阳能电池设备技术领域，包括箱体以及盖合在箱体顶部的箱盖，所述箱体内开设有第一冷却通道和第二冷却通道，所述第一冷却通道和第二冷却通道相通，所述箱体的一侧设有进气孔和出气孔，所述箱体内底壁开设有多...
该专利属于安徽美达伦光伏科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过安徽美达伦光伏科技有限公司授权不得商用。

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