下载一种用于大成像视场的快速激光点扫描控制设备的技术资料

文档序号:41780603

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本技术提供一种快速激光点扫描控制设备,包括沿光束传播方向依次设置的双轴微机(MEMS)快速扫描镜、第一透镜、第二透镜、X轴检流计扫描镜、第三透镜、第四透镜、Y轴检流计扫描镜。所述X轴检流计扫描镜和所述Y轴检流计扫描镜用于在整个成像视场范围内...
该专利属于深圳先进技术研究院所有,仅供学习研究参考,未经过深圳先进技术研究院授权不得商用。

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