下载坩埚及单晶炉的技术资料

文档序号:41778240

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本技术涉及一种坩埚及单晶炉。本技术中的坩埚包括坩埚本体及抑流结构;坩埚本体包括侧壁及埚底;抑流结构布置在坩埚本体的侧壁内和/或埚底上,抑流结构用于降低坩埚本体内盛放的硅液的对流。通过在坩埚本体内布置抑流结构,可降低坩埚本体内盛放的硅液的对流...
该专利属于无锡松瓷机电有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过无锡松瓷机电有限公司授权不得商用。

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