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本发明提供了一种电热膜，所述的电热膜由氯化锡、氯化锑、氯化铬、氯化镓、氯化锗组成，本发明还提供了一种镀膜工艺和一种气相沉积装置，所述的这种电热膜解决了现有技术中的电热膜层电阻不统一、在加热过程中受热不均匀、电热转换效率较低、电热膜寿命短的技...
该专利属于谭沉浮所有，仅供学习研究参考，未经过谭沉浮授权不得商用。

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