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本申请提出了一种砷化镓单晶生长状态检测方法及装置，包括以下步骤：设置第一数量的光纤探头布设在反应坩埚内，使用光纤探头来获取拉曼光谱图像，使用优化算法对光纤探头的布设位置进行优化；将所述拉曼光谱图像输入到训练好的判断‑分析模型中，所述判断‑分...
该专利属于浙江康鹏半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江康鹏半导体有限公司授权不得商用。

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