下载利用MOODDO2CL2和MOO2BR2的ALD沉积的技术资料

文档序号:41766511

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所公开和要求保护的主题涉及利用MoO<subgt;2</subgt;Cl<subgt;2</subgt;和MoO<subgt;2</subgt;Br<subgt;2</subgt;中的一种或多...
该专利属于弗萨姆材料美国有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过弗萨姆材料美国有限责任公司授权不得商用。

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