下载一种有高灵敏度的氧化铝薄膜湿度传感器及其制备方法的技术资料

文档序号:41750516

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本发明涉及传感器技术领域,并公开了一种有高灵敏度的氧化铝湿度传感器及其制备方法。所述方法包括:(1)将铝片进行退火处理;(2)将处理后的铝片用夹具固定在放入电解质质量比为1:1的KHSO<subgt;4</subgt;和NaHS...
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