温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供了一种晶圆上关于圆形图案的测量点的定位方法，该方法包括如下步骤：获取测量点的SEM图像、模板图像和至少包括阈值T及预设测量框的位置和范围的参数信息，对SEM图像和模板图像进行图像匹配确定第一偏移量；获取SEM图像中待测量圆形图案的...
该专利属于上海精测半导体技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海精测半导体技术有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。