下载一种多介质槽注入增强低功耗功率器件的技术资料

文档序号:41742107

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本发明属于功率半导体技术领域,公开了一种多介质槽注入增强低功耗功率器件,在漂移区内引入多个介质槽组构成辅助槽栅,辅助槽栅与主栅短接。正向导通时,多个介质槽组在周围聚集的电子以及其形成的窄台面共同作用下,电导调制效应被增强,实现低正向导通压降...
该专利属于南京邮电大学所有,仅供学习研究参考,未经过南京邮电大学授权不得商用。

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