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本发明公开了一种数字式MEMS扬声器发声单元结构及制造方法，在第一键合基板上设置氧化硅绝缘层，设置振膜层，在振膜层上沉积形成牺牲层，沉积电极上绝缘层，然后在电极上绝缘层上方继续沉积掺杂多晶硅形成发生单元电极层；在第二键合基板上沉积形成电极下...
该专利属于地球山（苏州）微电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过地球山（苏州）微电子科技有限公司授权不得商用。

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