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本技术涉及薄膜太阳能电池制备技术领域，尤其涉及一种近空间升华装置，包括升华容器、充气阀、出气阀、手摇杆与电容真空计；本技术中使用石墨加热内嵌石英坩埚或者陶瓷槽体，石英、氧化铝、氮化硼这些材料高温时释放杂质少，使用石英及陶瓷作为槽体接触待升华...
该专利属于南通元激发科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过南通元激发科技有限公司授权不得商用。

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