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本技术提供一种利用三氯氢硅制备高纯硅烷气的装置，涉及化工技术领域。该装置包括分离单元、歧化单元和提纯单元，所述分离单元包括精馏分离塔和歧化反应器一，所述歧化单元包括加热器和歧化反应器二，所述提纯单元包括多级冷凝器、精制塔和纯化器。本发明所提...
该专利属于浙江赛勒新能源材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江赛勒新能源材料有限公司授权不得商用。

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