下载一种可双面镀膜的磁控溅射镀膜机的技术资料

文档序号:41720053

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本技术公开了一种可双面镀膜的磁控溅射镀膜机,包括真空仓,所述真空仓的内壁一侧固定连接靶材,所述真空仓的一侧固定连接铰链的一侧,所述铰链的另一侧固定连接舱门,所述真空仓的内侧中部转动连接蜗杆,且蜗杆的外部设有螺纹,所述蜗杆的中部设有置料机构所...
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