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一种可双面镀膜的磁控溅射镀膜机制造技术
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下载一种可双面镀膜的磁控溅射镀膜机的技术资料
文档序号:41720053
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本技术公开了一种可双面镀膜的磁控溅射镀膜机,包括真空仓,所述真空仓的内壁一侧固定连接靶材,所述真空仓的一侧固定连接铰链的一侧,所述铰链的另一侧固定连接舱门,所述真空仓的内侧中部转动连接蜗杆,且蜗杆的外部设有螺纹,所述蜗杆的中部设有置料机构所...
该专利属于台玻咸阳玻璃有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过台玻咸阳玻璃有限公司授权不得商用。
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