下载一种可调的激光三角法位移传感器标定的装置与方法的技术资料

文档序号:41710080

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本发明公开了一种可调的激光三角法位移传感器标定的装置与方法。其中,装置包括光路系统、直线位移组;光路系统包括激光器、成像透镜组、图像传感器、被测物体面;直线位移组包括导轨、沿导轨移动的滑块、自滑块侧面延伸出的支架、高精度位移传感器;被测物体...
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