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本发明提供一种日盲紫外薄膜场效应晶体管及其制备方法。所述日盲紫外薄膜场效应晶体管包括依次层叠设置的Si衬底、Er<subgt;2</subgt;O<subgt;3</subgt;介质层和Ga<subgt;2&l...
该专利属于绍兴文理学院所有，仅供学习研究参考，未经过绍兴文理学院授权不得商用。

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