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本发明公开了一种压电微机械超声换能器结构，包括自下而上依次设置的衬底、底电极层、压电层和顶电极层，其中心部分的底电极层、压电层和顶电极层向上或者向下弯曲，形成凸形曲面或者凹形曲面，该曲面下方的衬底部分为空腔，并且曲面的外边缘和衬底空腔内壁之...
该专利属于天津大学所有，仅供学习研究参考，未经过天津大学授权不得商用。

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