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本技术属于半导体尾气处理技术领域，尤其为一种废气吸附剂卸料装置，包括吸附塔以及安装在所述吸附塔底部的支腿，所述吸附塔的外侧壁安装有进气管，所述吸附塔的顶部安装有排气管，所述吸附塔内设有三个吸附管，所述吸附管之间固定有连接块，所述连接块的中心...
该专利属于合肥钛米半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过合肥钛米半导体有限公司授权不得商用。

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