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本发明公开了一种氧化镓热释电红外焦平面阵列，涉及红外检测器件，针对现有技术中材料性质不够理想的问题提出本方案。包括导电衬底和多个热释电敏感单元；热释电敏感单元的材质为ε相氧化镓，其<001>晶向为热释电极化方向。优点在于，通过选...
该专利属于中山大学所有，仅供学习研究参考，未经过中山大学授权不得商用。

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