温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本技术公开了一种平面移动装置，包括：平台；导轨组件，包括设置于平台并沿第一方向延伸的第一导轨、以及滑动连接于第一导轨并沿第二方向延伸的第二导轨；移动机构，滑动连接于第二导轨上，移动机构能够相对于第二导轨沿竖向移动，移动机构的底部与平台的上表...
该专利属于矽电半导体设备（深圳）股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过矽电半导体设备（深圳）股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。