下载一种基于双输出杠杆的MEMS谐振式加速度计的技术资料

文档序号:41673890

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本发明提供一种基于双输出杠杆的MEMS谐振式加速度计,四个第一锚点、两个第二锚点与一个第三锚点均固定在衬底上,四个第一锚点分别通过质量块导向梁连接在质量块四个角上;音叉端、第三锚点位于质量块中心;四周的第一锚点与质量块导向梁关于第三锚点中心...
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