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一种曝光装置，包括：激光源，发射单束激光束；分光系统，将激光源发出的单束激光束分成第一束激光束和第二束激光束；Ｘ方向成像系统，接收分光系统发射的第一束激光束并对Ｘ极掩模版电路图形进行成像；Ｙ方向成像系统，接收分光系统发射的第二束激光束并对Ｙ...
该专利属于中芯国际集成电路制造（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（上海）有限公司授权不得商用。

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