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本发明涉及谐振器技术领域，特别涉及一种声波谐振器及其制备方法、通信器件。该声波谐振器至少包括支撑衬底，以及位于支撑衬底上的导电层、压电薄膜和叉指换能器；叉指换能器至少部分设于压电薄膜上；导电层至少包括底电极；压电薄膜至少部分设于底电极上；底...
该专利属于上海馨欧集成微电有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海馨欧集成微电有限公司授权不得商用。

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