下载一种微纳结构的制备方法的技术资料

文档序号:4164650

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本发明涉及一种微纳结构的制备方法,在基底上依次旋涂可溶性牺牲层、非溶性聚合物层、单分散的微球;除去微球,在非溶性聚合物层上得到有序的、球形凹陷的纳米排列;溶解掉可溶性牺牲层,将非溶性聚合物层翻转,得到有序的、球形凸起的纳米排列;刻蚀样品表面...
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