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本发明揭示一种用于量测流体内的臭氧浓度的设备，且包括：导管，其界定其中的至少一个通路，该导管具有选择性地施加至其且界定该导管上的一或多个传输区的至少一个反射涂层；多波长光源系统，其具有配置以引导具有第一波长的至少一个光信号穿过该导管内的臭氧...
该专利属于MKS仪器公司所有，仅供学习研究参考，未经过MKS仪器公司授权不得商用。

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