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公开了一种特征化测量盒内的膜层的系统。该系统获得对应于第一X射线束的第一混合分数，该混合分数表示第一X射线束在晶圆样品的测量盒内的分数，该测量盒表示设置在衬底之上的孔结构，并且具有设置于孔结构内部的膜层。系统获得对应于第一X射线束的测量盒的...
该专利属于诺威量测设备公司所有，仅供学习研究参考，未经过诺威量测设备公司授权不得商用。

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