下载基于有机辅助层热分解的层状材料悬空器件的制备方法的技术资料

文档序号:41573608

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本发明公开了一种基于有机辅助层热分解的层状材料悬空器件的制备方法,涉层状材料悬空器件技术领域。包括如下步骤:步骤1、将聚甲基丙烯酸甲酯旋涂至覆盖有层状材料的生长基底后,烘焙干燥,通过剥离或刻蚀的方法得到层状材料和聚甲基丙烯酸甲酯有机辅助层构...
该专利属于上海交通大学所有,仅供学习研究参考,未经过上海交通大学授权不得商用。

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