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文档序号:41569007

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本发明提供一种提高微波产生效率的级联结构光导开关及其制备方法,包括第一半导体衬底、第二半导体衬底、第一欧姆接触电极、第二欧姆接触电极、第三欧姆接触电极、第四欧姆接触电极、第一透明电极、第二透明电极、第三透明电极、第四透明电极、连接电极;本发...
该专利属于中国人民解放军国防科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过中国人民解放军国防科技大学授权不得商用。

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