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本发明公开了一种离子探针的元素‑同位素图像超分辨率方法及系统，它包括离子图像采集系统和离子图像处理系统。其步骤为：采用一次离子束扫描束斑标准样品，获得模糊退化标准离子图像；采用一次离子束扫描元素‑同位素成分标准样品，获得元素‑同位素成分标准...
该专利属于中国科学院地质与地球物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院地质与地球物理研究所授权不得商用。

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