下载一种PEM电解池双极板用多层强耐蚀涂层及其制备方法的技术资料

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本发明公开了一种PEM电解池双极板用多层强耐蚀涂层及其制备方法,属于涂层制备技术领域,通过直流反应磁控溅射技术在钛板基体表面交替沉积TaN层和Ta层,最外层覆盖PtTaN层,形成Ta/TaN/PtTaN多层涂层,其中的TaN层和Ta层,利用...
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