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双加热系统硅单晶生长装置制造方法及图纸
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下载双加热系统硅单晶生长装置的技术资料
文档序号:4153281
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本实用新型涉及双加热系统硅单晶生长装置,包括有保温炉,保温炉内有保温筒,保温炉底部有炉底护板及炉底压片,还包括有石墨坩埚及坩埚轴,坩埚轴外套有坩埚轴护套,其位于保温炉内的端部连接有托盘,石墨坩埚放置于托盘上,保温炉底部安装有电极柱,电极柱顶...
该专利属于合肥景坤新能源有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过合肥景坤新能源有限公司授权不得商用。
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