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本申请公开了一种点测机的软件架构，包括人机交互层，用于接收测试指令，测试指令包括扫描晶圆或测试晶粒；逻辑处理层，与人机交互层连接，用于根据测试指令，生成测试逻辑，测试逻辑包括电机运动控制模块、IO(输入输出)控制模块或图像处理模块中的至少一...
该专利属于苏州精濑光电有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州精濑光电有限公司授权不得商用。

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