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本发明涉及一种新型碳化硅切割系统及方法，系统包含飞秒激光设备、等离子体刻蚀仪、载物平台、视觉实时监测系统、电脑控制系统等。本发明使用飞秒激光设备，由于飞秒激光具有脉冲宽度极短、峰值功率极高、热输入少、深径比大范围可调的优点，进行碳化硅晶圆及...
该专利属于陕西豫科星辰智能科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过陕西豫科星辰智能科技有限公司授权不得商用。

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