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本公开涉及一种用于光子集成电路的扩大的多层氮化物波导。结构和方法实现了扩大的多层氮化物波导。该结构可以包括位于衬底上方的层间电介质(ILD)层。第一扩大的多层氮化物波导位于衬底的一区域中的ILD层中。第二多层氮化物波导也可以设置在ILD层中...
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