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本发明属于半导体生产技术领域，具体是半导体尾气处理分析方法，包括以下步骤：安装固定气体池；进口与出口的连接；分类密闭收集尾气；吹扫光路系统及气体池；液氮制冷；检测样品并导出数据校正；检测并记录未净化废气数据；净化废气并检测记录对比废气前后数...
该专利属于北京高麦克仪器科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京高麦克仪器科技有限公司授权不得商用。

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