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本发明涉及准分子激光器高精度单脉冲能量测量装置,同时涉及准分子激光器高精度单脉冲能量测量方法,属于准分子激光技术领域。所述装置,包括:转换电路,用于将单脉冲光信号转换为电压信号;峰值保持电路,用于对所述电压信号的峰值进行保持,并输出保持后的...该专利属于北京科益虹源光电技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过北京科益虹源光电技术有限公司授权不得商用。
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