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本发明属于扫描隧道显微镜技术领域，尤其涉及双马达驱动独立扫描单元的扫描隧道显微镜和扫描方法。双马达驱动独立扫描单元的扫描隧道显微镜，包括镜体，其特征在于：镜体包括外框架、第一驱动单元、第二驱动单元和扫描单元，所述外框架内部中空，所述第一驱动...
该专利属于中国科学院合肥物质科学研究院所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院合肥物质科学研究院授权不得商用。

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