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本发明涉及气体混合技术领域，尤其是一种氟碳气体混合的补气装置，包括壳体，壳体呈圆形结构，壳体上连通设置有出气阀；壳体上通过密封轴承可转动连接有螺纹套，螺纹套上通过密封轴承连接有第二进气管，第二进气管通过定位机构定位，第二进气管上连通设置有第...
该专利属于合肥先微半导体材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过合肥先微半导体材料有限公司授权不得商用。

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