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本发明提供了一种用于卧式MOCVD设备的反应腔壳，所述卧式MOCVD设备包括内筒(41)，设置在反应腔壳内，并且所述内筒(41)的纵向轴线保持水平，所述反应腔壳包括第一壳体(31)和第二壳体(32)，所述第一壳体(31)和第二壳体(32)能...
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