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提供了一种配置用于对波前像差进行决定与补偿的改良方法的多束带电粒子显微镜。采用变化元件，所述波前像差幅度被间接决定并以正规化灵敏度单位转换。采用本发明，可采用与该变化元件不同的补偿元件以补偿所述波前像差。例如，所述正规化灵敏度单位可由改良校...
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