下载一种炉温仪保护装置的技术资料

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本技术公开了一种炉温仪保护装置,包括炉温仪保护盒,在炉温仪保护盒上设置用于炉温仪的热电偶探针穿出的探针口,在炉温仪保护盒靠近探针口的一侧设置用于对放置硅片的硅片承载框,所述硅片承载框与炉温仪保护盒之间通过卡扣结构可拆卸连接;本技术炉温仪保护...
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