下载加料装置和单晶炉的技术资料

文档序号:41461995

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本发明提供了一种加料装置和单晶炉。加料装置适用于在单晶炉内进行自动加料,包括:主体件,包括壳体和固定于壳体内部的定位盘和限位盘,壳体包括侧壁和顶板,主体件具有贯穿的第一通孔;旋转卡盘,位于壳体内,旋转卡盘适于在定位盘和限位盘之间沿第一方向移...
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