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本发明涉及一种三氯氢硅的制造方法，所述方法包括使四氯化硅、氢气和任选的氯化氢与硅粉在选自铜卤化物和镍卤化物的至少一种主催化剂和选自碱金属化合物的至少一种助催化剂的存在下发生反应的步骤。本发明的三氯氢硅的制造方法与现有技术的制造方法相比，具有...
该专利属于江苏中能硅业科技发展有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏中能硅业科技发展有限公司授权不得商用。

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