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本申请提出了一种基于蓝宝石衬底的氧化镓单晶紫外探测器件、阵列制备方法和应用，包括：蓝宝石衬底、沉积在蓝宝石衬底表面的单晶氧化镓薄膜，其中单晶氧化镓薄膜上光刻有金属硬掩膜层并刻蚀形成以阵列排布设置的多个单晶氧化镓纳米块，其中每一氧化镓纳米块的...
该专利属于西安电子科技大学杭州研究院所有，仅供学习研究参考，未经过西安电子科技大学杭州研究院授权不得商用。

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