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本发明公开了一种热电堆红外探测器及其制备方法,热电堆红外探测器包括:衬底、支撑层、红外吸收层、若干热偶条与金属电极结构;支撑层设置在衬底上;红外吸收层设置在支撑层上并位于支撑层的中间位置;热偶条设置在支撑层上,并与红外吸收层连接,沿红外吸收...该专利属于中国科学院深圳先进技术研究院所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院深圳先进技术研究院授权不得商用。
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本发明公开了一种热电堆红外探测器及其制备方法,热电堆红外探测器包括:衬底、支撑层、红外吸收层、若干热偶条与金属电极结构;支撑层设置在衬底上;红外吸收层设置在支撑层上并位于支撑层的中间位置;热偶条设置在支撑层上,并与红外吸收层连接,沿红外吸收...