下载半导体结构、半导体器件、电子设备及晶圆键合方法的技术资料

文档序号:41431478

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本申请实施例提供了一种半导体结构、半导体器件、电子设备及晶圆键合方法,晶圆键合方法包括:提供待键合的两个晶圆,每个晶圆包括衬底,两个衬底中至少一者的第一侧设有器件功能层;在两个晶圆上分别形成金属键合层,金属键合层设置在衬底的第一侧;在带金属...
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