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本技术公开了一种单晶硅片烘干装置，涉及单晶硅片加工技术领域；而本技术包括底板，所述底板顶端固定设有均匀分布的第一支撑架，所述第一支撑架上固定安装有输送带，所述输送带表面固定安装有均匀分布的引导块，所述底板顶端固定设有对称分布的第二支架，所述...
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